精密和超精密加工機(jī)床的現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢 超精密加工目前尚沒有統(tǒng)一的定義，在不同的歷史時(shí)期、不同的科學(xué)技術(shù)發(fā)展水平情況下，有不同的理解。目前，工業(yè)發(fā)達(dá)國家的一般工廠己能穩(wěn)定掌握3μm的加工精度(我國為5μm)。因此，通常稱低于此值的加工為普通精度加工，而高于此值的加工則稱之為高精度加工。 在高精度加工的范疇內(nèi)，根據(jù)精度水平的不同。分為3個(gè)檔次： 精度為0.3~3μm，粗糙度為0.03~0.3μm的為精密加工； 精度為0.03~0.3μm，粗糙度為0.005~0.03μm的稱作超精密加工，或亞微米加工； 精度為0.03μm(30nm)，粗糙度優(yōu)于0.005μm以上的則稱為納米(nm)加工。 我國的超精密加工技術(shù)在上世紀(jì)70年代末期有了長足進(jìn)步，80年代中期出現(xiàn)了具有世界水平的超精密機(jī)床和部件。北京機(jī)床研究所是國內(nèi)進(jìn)行超精密加工技術(shù)研究的主要單位之一，研制出了多種不同類型的超精密機(jī)床、部件和相關(guān)的高精度測試儀器等，如精度達(dá)0.025μm的精密軸承、JCS-027超精密車床、JCS-031超精密銑床、JCS-035超精密車床、超精密車床數(shù)控系統(tǒng)、復(fù)印機(jī)感光鼓加工機(jī)床、紅外大功率激光反射鏡、超精密振動(dòng)一位移測微儀等，達(dá)到了國內(nèi)、國際先進(jìn)水平。航空航天工業(yè)部303所在超精密主軸、花崗巖坐標(biāo)測量機(jī)等方面進(jìn)行了深入研究及產(chǎn)品生產(chǎn)。大理石機(jī)械構(gòu)件在金剛石超精密切削、金剛石刀具晶體定向和刃磨、金剛石微粉砂輪電解在線修整技術(shù)等方面進(jìn)行了卓有成效的研究。清華大學(xué)在集成電路超精密加工設(shè)備、磁盤加工及檢測設(shè)備、微位移工作臺、超精密砂帶磨削和研拋、金剛石微粉砂輪超精密磨削、非圓截面超精密切削等方面進(jìn)行了深入研究，并有相應(yīng)產(chǎn)品問世。此外，中科院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所、華中理工大學(xué)、成都工具研究所、國防科技大學(xué)等都進(jìn)行了這一領(lǐng)域的研究，成績顯著。但總的來說，我國在超精密加工機(jī)床的效率、精度、可靠性，特別是規(guī)格(大尺寸)和技術(shù)配套性方面與國外相比，與生產(chǎn)實(shí)際要求相比，還有相當(dāng)大的差距。