FUA-1128STGF硅片半導(dǎo)體清洗機(jī) 自動(dòng)化程度高，適用于批量生麈，確保清洗質(zhì)量的一致性。 進(jìn)口伺服驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)及機(jī)械手臂，清洗過程中無需人工操作。 采用PLC全程序控制輿觸摸屏操作界面。清洗設(shè)置隨心所欲。 日本NTK高頻振子，配合第七代德國(guó)技衍發(fā)生器，保證輸送力均勻細(xì)膩。 自動(dòng)氮?dú)夤呐菅b置可有效提高立品質(zhì)量，縮短清洗時(shí)間。 可選裝流凈化系統(tǒng)及自動(dòng)配酸裝置。