等離子化學反應過程

等離子體化學反應過程中，等離子體傳遞化學能量的反應過程中能量的傳遞大致如下：
(1)電場+電子一高速電子+高速離子
(2)電子+分子（或原子）一（受激原子、受激基團、游離基團）活性基團
(3)活性基團+分子（原子）一生成物+熱
(4)活性基團+活性基團一生成物+熱

過程一：高能電子直接轟擊

過程二：產(chǎn)生氧原子、臭氧、羥基自由基及小分子碎片02+2e→0．
02+0．→03+e
H20+2e→H．+HO．
H20+O.+e-÷2HO．
H．+  02→HO．+0
C(a+b)H(m+n)O(x+y)+2  e→CaHmOx.+CbHnOy

將絕緣介質(zhì)插入放電空間的一種氣體放電。介質(zhì)可以覆蓋在電極上，也可以懸掛在放電空間里，當在放電電極間施加一定頻率（50  MHz至幾K赫茲）的-  Kv的交流電壓時，電極間的氣體就會被擊穿產(chǎn)生碳阻擋氣體放電。在大氣壓或高于大氣壓條件下，間隙內(nèi)的氣體放電由許多在時間上和空間上隨機分布的微放電構(gòu)成，這些微放電的持續(xù)時間很短，一般為納秒量級【20】。由實驗觀察，微放電通常呈現(xiàn)一些相當均勻的圓柱型微通道，每一個微通道就是一個強烈的流光放電擊穿過程，帶電粒子的輸運過程及等離子體化學反應就發(fā)生在這些微放電通道內(nèi)。因此一些研究者將微放電作為碳等離子體的主要特性，并通過研究微放電的性質(zhì)來研究碳等離子體的整體特性。從碳的物理過程來看，電源電壓通過電介質(zhì)電容耦合到放電間隙形成電場，空間電子在這一電場作用下獲得能量，與周圍氣體發(fā)生非彈性碰撞，電子從外加電場取得能量轉(zhuǎn)移給氣體分子，氣體被激勵后，發(fā)生電子雪崩，出現(xiàn)了相當數(shù)量的空間電荷。